電子特氣電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。國內(nèi)的高純度凈化技術(shù)主要依賴進口，自身的技術(shù)水準（6N）與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設(shè)計和研發(fā)一系列高一點效能、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至較小，從而較大地改善工藝能力，降低產(chǎn)品缺陷， 提高制程的產(chǎn)量，滿足下一代半導(dǎo)體、微電子以及相關(guān)高技術(shù)發(fā)展的需要。本項目將形成有自主知識產(chǎn)權(quán)的高純度電子特氣凈化技術(shù)，解決高純度電子特氣凈化這一核心技術(shù)的國產(chǎn)化問題。

      高純氣體無機類：

      高純氣體有機類：

      包裝一般采用40升鋼質(zhì)無縫氣瓶包裝，充裝壓力和充裝量完全符合相關(guān)國家標(biāo)準；特殊氣體規(guī)格也可根據(jù)客戶要求充裝成8升，4升或其它種類氣瓶液化氣體計量稱重；腐蝕性、反應(yīng)活性氣體采用代不銹鋼瓶閥和特殊處理氣瓶進行包裝。